2021年8月9日,沈陽有色金屬加工有限公司參與的“十三五”國家重點研發計劃“大規格稀有/稀貴金屬靶材制造技術”項目順利通過綜合績效評價。會議由科技部高技術中心重點基礎材料技術提升與產業化專項辦組織,參會人員包括科技部高技術中心領導、技術和財務專家組、有色金屬工業協會領導、有研科技集團領導、項目及各課題負責人、任務骨干及財務管理人員等。
高技術中心材料處蔣志君處長介紹了項目綜合績效評價工作要求,并宣布專家組成員名單,專家組組長由清華大學潘峰教授擔任。本次評價會議,專家組審閱了項目資料,考察了生產現場,項目負責人有研科技集團副總經理王興權教授進行了項目綜合績效自評價專題匯報。經過專家組問詢、討論和打分,認為項目圓滿完成了任務合同書中約定的研究內容和各項考核指標,取得了良好的經濟和社會效益,一致同意項目通過綜合績效評價。
“大規格稀有/稀貴金屬靶材制造技術”項目由沈陽有色金屬加工有限公司參與研制,成員單位包括貴研鉑業股份有限公司、中南大學等國內超高純稀有稀貴金屬基礎理論研究及高端半導體靶材開發與制造領域10家優勢單位,形成“基礎前沿-共性關鍵技術-應用示范”協同創新團隊。項目面向我國高端半導體產業快速發展對國產高品質、大規格稀有稀貴金屬濺射靶材的迫切需求,發展了稀有稀貴金屬靶材綜合性能的協同調控理論,開發出7種達到國際先進水平的大規格超高純稀有稀貴金屬靶材及其制造技術,并建成三條產業化示范線,產品批量供貨于國內外一流半導體廠商,實現了半導體用關鍵核心材料國產化,有力支撐了我國電子信息行業安全、快速發展。
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